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浅析激光干涉仪也是一种高精度位移传感器
时间:2019-01-03

今天激光干涉仪小编为您了解到激光干涉仪也是一种高精度位移传感器。

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产品简介

SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,采用不同的光学镜组与激光配合,得到不同的干涉信号,然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据,将数据通过计算机进行显示和动态分析。

产品用途

激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具,可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线,为数控机床的误差 修正提供可靠依据,现场使用尤为方便。

激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。

激光干涉仪也是一种高精度位移传感器,可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。

激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能,可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。

产品特点

测量精度高:以激光干涉技术为核心,分辨率可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。

具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。

可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。

具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线)及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等。

内置各种类国标(GB)、ISO(国际)、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据,并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。

可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。

测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录;可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD(选配)文档。

安装方便:基本重量为15kg,简单便携。

通过激光干涉仪小编的了解,希望对您有所帮助。


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